vestifmИзвестия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-математических наукProceedings of the National Academy of Sciences of Belarus. Physics and Mathematics Series1561-24302524-2415The Republican Unitary Enterprise Publishing House "Belaruskaya Navuka"vestifm-139Research ArticleФИЗИКАPHYSICSЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩИЕ СТРУКТУРЫ В ЛАЗЕРНО-МОДИФИЦИРОВАННЫХ ПЛЕНКАХ АЛМАЗОПОДОБНОГО УГЛЕРОДАELECTRICALLY CONDUCTING STRUCTURES IN LASER-MODIFIED DIAMOND-LIKE CARBON FILMSЧумаковА. Н.ChumakovA. N.НикончукИ. С.NikonchukI. S.ПоклонскийН. А.PoklonskiN. A.ГорбачукН. И.GorbachukN. I.ПоклонскаяО. Н.PoklonskayaО. N.ОбуховВ. Е.ObukhovV. Е.Институт физики имени Б. И. Степанова Национальной академии наук Беларуси, МинскB. I. Stepanov Institute of Physics of the National Academy of Sciences of Belarus, MinskБелорусский государственный университет, МинскBelarusian State University, MinskФизико-технический институт Национальной академии наук Беларуси, МинскThe Physical-Engineering Institute of the NAS of Belarus, Minsk201419052016047275Copyright © Чумаков А.Н., Никончук И.С., Поклонский Н.А., Горбачук Н.И., Поклонская О.Н., Обухов В.Е., 20162016Чумаков А.Н., Никончук И.С., Поклонский Н.А., Горбачук Н.И., Поклонская О.Н., Обухов В.Е.Chumakov A.N., Nikonchuk I.S., Poklonski N.A., Gorbachuk N.I., Poklonskaya О.N., Obukhov V.Е.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://vestifm.belnauka.by/jour/article/view/139

Исследована модификация пленок алмазоподобного углерода (АПУ) импульсным лазерным излучением с длиной волны 532 нм и длительностью 18 нс. Облучение пленок АПУ с энергетической экспозицией свыше 0,4 Дж/см2 сопровождалось формированием электропроводящих структур с поверхностным сопротивлением от тысяч до единиц кОм/^. Установлена зависимость проводимости пленок от энергетической экспозиции лазерного облучения и обсуждается ее связь со структурными изменениями пленок и процессами их нагрева и испарения.

Modification of diamond-like carbon (DLC) films by pulsed laser radiation with a wavelength of 532 nm and a pulse duration of 18 ns was investigated. Irradiation of DLC films with laser fluence over 0.4 J/cm2 was accompanied by the formation of electrically conducting structures with a surface resistance varying from thousands to a kΩ/sq. The dependence of conductivity of films on the laser fluence was established. A relationship between the energy density of laser radiation and the structural changes in films, their heating and evaporation is discussed.

ReferencesRobertson J. // Materials Science and Engineering R. 2002. N 37. P. 129-281.Robertson J. // Materials Science and Engineering R. 2002. N 37. P. 129-281.Армеев В. Я., Волков Ю. Я., Конов В. И. и др. // Письма в ЖТФ. 1990. № 16. С. 54-56.Армеев В. Я., Волков Ю. Я., Конов В. И. и др. // Письма в ЖТФ. 1990. № 16. С. 54-56.Файзрахманов И. А., Базаров В. В., Степанов А. Л., Хайбуллин И. Б. // ФТП. 2003. № 37. С. 748-752.Файзрахманов И. А., Базаров В. В., Степанов А. Л., Хайбуллин И. Б. // ФТП. 2003. № 37. С. 748-752.Грицкевич Р. Н., Поклонский Н. А., Горбачук Н. И., ШпакЕ. П. Пат. 14221 Респ. Беларусь / Афщ. бюл. Нац. цэнтр штэлектуал. уласнасщ. 2011. № 2. С. 136.Грицкевич Р. Н., Поклонский Н. А., Горбачук Н. И., ШпакЕ. П. Пат. 14221 Респ. Беларусь / Афщ. бюл. Нац. цэнтр штэлектуал. уласнасщ. 2011. № 2. С. 136.Ferrari A. c., Robertson J. // Phys. Rev. B. 2001. N 301. Р. 075414 (13).Ferrari A. c., Robertson J. // Phys. Rev. B. 2001. N 301. Р. 075414 (13).Tan P. H., Dimovsky S., Gogotsi Yu. // Phil. Trans. R. Soc. Lond. 2004. A362. Р. 2289-2310.Tan P. H., Dimovsky S., Gogotsi Yu. // Phil. Trans. R. Soc. Lond. 2004. A362. Р. 2289-2310.Поклонский Н. А., Горбачук Н. И., Ксеневич В. К. и др. // Аморфные и микрокристаллические полупроводники: сб. тр. IX Междунар. конф. СПб., 2014. С. 29-30.Поклонский Н. А., Горбачук Н. И., Ксеневич В. К. и др. // Аморфные и микрокристаллические полупроводники: сб. тр. IX Междунар. конф. СПб., 2014. С. 29-30.chumakov A., NikonchukI., Poklonski N. et al. // Proc. of the X Symp. of Belarus and Serbia on Physics and Diagnostics of Laboratory and Astrophysical Plasmas. Belgrade, 2014. P. 23-26.chumakov A., NikonchukI., Poklonski N. et al. // Proc. of the X Symp. of Belarus and Serbia on Physics and Diagnostics of Laboratory and Astrophysical Plasmas. Belgrade, 2014. P. 23-26.Kononenko T. V., Pimenov S. M., Kononenko V V et al. // Appl. Phys. A. 2004. N 79. Р. 543-549.Kononenko T. V., Pimenov S. M., Kononenko V V et al. // Appl. Phys. A. 2004. N 79. Р. 543-549.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.