Preview

Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-математических наук

Расширенный поиск

ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩИЕ СТРУКТУРЫ В ЛАЗЕРНО-МОДИФИЦИРОВАННЫХ ПЛЕНКАХ АЛМАЗОПОДОБНОГО УГЛЕРОДА

Полный текст:

Аннотация

Исследована модификация пленок алмазоподобного углерода (АПУ) импульсным лазерным излучением с длиной волны 532 нм и длительностью 18 нс. Облучение пленок АПУ с энергетической экспозицией свыше 0,4 Дж/см2 сопровождалось формированием электропроводящих структур с поверхностным сопротивлением от тысяч до единиц кОм/^. Установлена зависимость проводимости пленок от энергетической экспозиции лазерного облучения и обсуждается ее связь со структурными изменениями пленок и процессами их нагрева и испарения.

Об авторах

А. Н. Чумаков
Институт физики имени Б. И. Степанова Национальной академии наук Беларуси, Минск
Беларусь


И. С. Никончук
Институт физики имени Б. И. Степанова Национальной академии наук Беларуси, Минск
Беларусь


Н. А. Поклонский
Белорусский государственный университет, Минск
Беларусь


Н. И. Горбачук
Белорусский государственный университет, Минск
Беларусь


О. Н. Поклонская
Белорусский государственный университет, Минск
Беларусь


В. Е. Обухов
Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси, Минск
Беларусь


Список литературы

1. Robertson J. // Materials Science and Engineering R. 2002. N 37. P. 129-281.

2. Армеев В. Я., Волков Ю. Я., Конов В. И. и др. // Письма в ЖТФ. 1990. № 16. С. 54-56.

3. Файзрахманов И. А., Базаров В. В., Степанов А. Л., Хайбуллин И. Б. // ФТП. 2003. № 37. С. 748-752.

4. Грицкевич Р. Н., Поклонский Н. А., Горбачук Н. И., ШпакЕ. П. Пат. 14221 Респ. Беларусь / Афщ. бюл. Нац. цэнтр штэлектуал. уласнасщ. 2011. № 2. С. 136.

5. Ferrari A. c., Robertson J. // Phys. Rev. B. 2001. N 301. Р. 075414 (13).

6. Tan P. H., Dimovsky S., Gogotsi Yu. // Phil. Trans. R. Soc. Lond. 2004. A362. Р. 2289-2310.

7. Поклонский Н. А., Горбачук Н. И., Ксеневич В. К. и др. // Аморфные и микрокристаллические полупроводники: сб. тр. IX Междунар. конф. СПб., 2014. С. 29-30.

8. chumakov A., NikonchukI., Poklonski N. et al. // Proc. of the X Symp. of Belarus and Serbia on Physics and Diagnostics of Laboratory and Astrophysical Plasmas. Belgrade, 2014. P. 23-26.

9. Kononenko T. V., Pimenov S. M., Kononenko V V et al. // Appl. Phys. A. 2004. N 79. Р. 543-549.


Просмотров: 137


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1561-2430 (Print)
ISSN 2524-2415 (Online)