ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩИЕ СТРУКТУРЫ В ЛАЗЕРНО-МОДИФИЦИРОВАННЫХ ПЛЕНКАХ АЛМАЗОПОДОБНОГО УГЛЕРОДА
Аннотация
Исследована модификация пленок алмазоподобного углерода (АПУ) импульсным лазерным излучением с длиной волны 532 нм и длительностью 18 нс. Облучение пленок АПУ с энергетической экспозицией свыше 0,4 Дж/см2 сопровождалось формированием электропроводящих структур с поверхностным сопротивлением от тысяч до единиц кОм/^. Установлена зависимость проводимости пленок от энергетической экспозиции лазерного облучения и обсуждается ее связь со структурными изменениями пленок и процессами их нагрева и испарения.
Об авторах
А. Н. Чумаков
Институт физики имени Б. И. Степанова Национальной академии наук Беларуси, Минск
Беларусь
Беларусь
И. С. Никончук
Институт физики имени Б. И. Степанова Национальной академии наук Беларуси, Минск
Беларусь
Беларусь
Н. А. Поклонский
Белорусский государственный университет, Минск
Беларусь
Беларусь
Н. И. Горбачук
Белорусский государственный университет, Минск
Беларусь
Беларусь
О. Н. Поклонская
Белорусский государственный университет, Минск
Беларусь
Беларусь
В. Е. Обухов
Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси, Минск
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Robertson J. // Materials Science and Engineering R. 2002. N 37. P. 129-281.
2. Армеев В. Я., Волков Ю. Я., Конов В. И. и др. // Письма в ЖТФ. 1990. № 16. С. 54-56.
3. Файзрахманов И. А., Базаров В. В., Степанов А. Л., Хайбуллин И. Б. // ФТП. 2003. № 37. С. 748-752.
4. Грицкевич Р. Н., Поклонский Н. А., Горбачук Н. И., ШпакЕ. П. Пат. 14221 Респ. Беларусь / Афщ. бюл. Нац. цэнтр штэлектуал. уласнасщ. 2011. № 2. С. 136.
5. Ferrari A. c., Robertson J. // Phys. Rev. B. 2001. N 301. Р. 075414 (13).
6. Tan P. H., Dimovsky S., Gogotsi Yu. // Phil. Trans. R. Soc. Lond. 2004. A362. Р. 2289-2310.
7. Поклонский Н. А., Горбачук Н. И., Ксеневич В. К. и др. // Аморфные и микрокристаллические полупроводники: сб. тр. IX Междунар. конф. СПб., 2014. С. 29-30.
8. chumakov A., NikonchukI., Poklonski N. et al. // Proc. of the X Symp. of Belarus and Serbia on Physics and Diagnostics of Laboratory and Astrophysical Plasmas. Belgrade, 2014. P. 23-26.
9. Kononenko T. V., Pimenov S. M., Kononenko V V et al. // Appl. Phys. A. 2004. N 79. Р. 543-549.
Рецензия
Просмотров: 632
Послать статью по эл. почте 