Preview

Войти

Регистрация нового пользователя Забыли Ваш пароль?

Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-математических наук

Расширенный поиск

ЭРОЗИЯ ПОВЕРХНОСТИ МНОГОСЛОЙНЫХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ НИТРИДОВ ЦИРКОНИЯ И КРЕМНИЯ, ОБЛУЧЕННЫХ ИОНАМИ ГЕЛИЯ

https://doi.org/10.29235/1561-2430-2018-54-1-110-118

Аннотация

Работа посвящена исследованию процессов эрозии поверхности многослойных пленок ZrN/SiNx , облученных ионами He (30 кэВ) и отожженных в вакууме при T = 600 °С. Выявлено, что многослойные пленки ZrN/SiNx остаются устойчивыми к образованию блистеров и отшелушиванию при облучении ионами He (30 кэВ) до дозы 8∙1016 см–2. Обнаружено влияние толщины кристаллического и аморфного слоя на характер и степень эрозии поверхности многослойных пленок в результате пострадиационного отжига при T = 600 °С. Обсуждаются возможные механизмы блистеринга и отшелушивания в многослойных системах ZrN/SiNx .

 

Просмотров: 1008


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1561-2430 (Print)
ISSN 2524-2415 (Online)

ул. Академическая, 1, кабинет 118, 220072, Минск, Республика Беларусь,
тел. +375 17 374 02 45, e-mail: fmvesti@mail.ru
ул. Франциска Скорины, 40, кабинет 318, 220141, Минск, Республика Беларусь,
Республиканское унитарное предприятие «Издательский дом «Белорусская наука»,
тел.: +375 17 368 76 52, тел./факс: +375 17 373 86 18;
e-mail: info@belnauka.by, glavred@belnauka.by  

создано и поддерживается NEICON
(лаборатория Elpub)