ИССЛЕДОВАНИЕ ВАКАНСИОННО-КИСЛОРОДНЫХ КОМПЛЕКСОВ В ОБЛУЧЕННЫХ БЫСТРЫМИ ЭЛЕКТРОНАМИ И НЕЙТРОНАМИ КРИСТАЛЛАХ КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ИК-ПОГЛОЩЕНИЯ
Аннотация
Методом ИК-спектроскопии установлено, что в температурном интервале отжига дивакансий (200-275 °С) в облученных кислородосодержащих кристаллах кремния имеет место формирование двух полос поглощения, расположенных у 833,4 и 842,4 см-1. В отличие от предыдущих исследований, где обе эти полосы были приписаны комплексу дивакансия-кислород V2O, образующемуся путем захвата подвижных V2 междоузельными атомами кислорода 0;, только полоса у 833,4 см-1 может быть приписана данному дефекту. Относительная интенсивность полосы у 842,4 см-1 существенно увеличивается в образцах, облученных нейтронами, по сравнению с образцами, облученными электронами. Сделано заключение, что эта полоса связана с комплексом тривакансия-кислород V30, образующимся путем захвата подвижных V3атомами 0i atoms.
Об авторах
Е. А. Толкачева
Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению, Минск
Беларусь
Беларусь
Л. И. Мурин
Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению, Минск
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Londos C. A., Fytros L. G., Georgiou G. J. // Defect and Diffusion Forum. 1999. Vol. 273/274. P. 1-32.
2. Lindstrom J. L., Murin L. I., Hallberg T. et al. // Nuclear Inst. and Methods in Physics Research B. 2002. Vol. 186. P. 121-125.
3. Murin L. I., Lindstrom J. L, Svensson B. G. et al. // Solid State Phenomena. 2005. Vol. 108/109. P. 267-272.
4. Sarlis N. V., Londos C. A., Fytros L. G // J. Appl. Phys. 1997. Vol. 81, N 4. P. 1645-1650.
5. Lindstrom J. L, Murin L. I., Markevich V. P. et al. // Physica B. 1999. Vol. 273-274. P. 291-295.
6. Murin L. I., Svensson B. G., Lindstrom J. L. et al. // Physica B: Condensed Matter. 2009. Vol. 404, N 23/24. P. 4568-4571.
7. Толкачева Е. А., Мурин Л. И. // Журн. приклад. спектроскопии. 2013. Т. 80, № 4. С. 582-586.
8. Cheng L. J, Corelli J. C, Corbett J. W, Watkins G. D. // Phys. Rev. 1966. Vol. 152, N 2. P. 761-774.
9. Markevich V. P., Peaker A. R., Lastovskii S. B. et al. // J. Phys.: Condensed Matter. 2003. Vol. 15. P. S2779-S2789.
10. Alfieri G., Monakhov E. V., AvsetB. S., Svensson B. G. // Phys. Rev. B. 2003. Vol. 68, N 23. P. 3202(1-4).
11. Lee Y.-H., Corbett J. W. // Phys. Rev. B. 1974. Vol. 9, N 10. P. 4351-4361.
12. Markevich V. P., Peaker A. R., Hamilton B. et al. // Phys. Rev. B. 2009. Vol. 80, N 23. P. 5207(1-7).
13. Markevich V. P., Peaker A. R., Hamilton B. et al. // Physica B. 2012. Vol. 407, N 15. P. 2974-2977.
Рецензия
Просмотров: 671
Послать статью по эл. почте 